西安理工大学电子科学与技术专业源于1972年我校设置的半导体器件与物理专业，是我国为促进半导体工业的发展、早期设置的少数半导体类专业之一。1973年开始本科招生，1998年正式开始电子科学与技术本科专业招生，2007年获批陕西省特色专业，2009年获批为“国家特色专业”，2017年入选陕西普通高校“一流专业”建设项目。本专业依托的学科1990年获得首个二级学科硕士点，2000年获得微电子学与固体电子学二级学科博士学位授予权，2007年获批设立一级学科博士后流动站，2011年获批电子科学与技术一级学科博士点。在2017年教育部第四轮学科水平评估中被评为B-(百分位30%-40%）。

本专业拥有专业学位研究生联合培养国家示范基地、陕西省军民两用集成电路设计中心、陕西省新型半导体功能材料与设备工程研究中心等多个省级以上平台。经过多年积淀，已稳固地形成了新型半导体材料与器件、集成电路设计、光电子器件与技术、电磁理论与数值计算等四个稳定且具特色的人才培养方向。目前本专业工程教育认证申请已被受理，本专业以工程教育认证为契机，树立以学生为中心的创新型、综合化、全周期工程教育理念，紧密围绕学校发展定位和人才培养目标，以社会经济发展需求为导向，积极推进工程教育改革，探索主动适应新技术发展趋势的人才培养模式，培养具有较强的工程实践能力，能够从事各种电子材料的制备与表征、半导体元器件的设计与制备、集成电路的设计及验证等相关领域的科学研究、技术开发、人才教育和生产管理等工作并具有国际化视野和创新精神的工程技术和项目管理人才。